光刻機的工作原理是怎樣的?

光刻機的工作原理為快速放大光源,使光源在幾秒內所發(fā)射的光脈沖的波長大于被放大的材料原子光譜的截面周長。并且所有組合后光刻機(電腦)要有同等能量以完成光刻。根據原子結構的性質,光刻機會將其切割成一個個的一個一個的微粒。然后再放大,使光帶到凹槽外將其刻到光滑的平面上。現在光刻的材料有很多,有很多就是用陽極樹脂、玻璃及陶瓷等材料,可以在工作應力下發(fā)生形變。

光刻機怎么分類?

光刻機一般根據操作的簡便性分為三種，手動、半自動、全自動。

1、手動：指的是對準的調節(jié)方式，是通過手調旋鈕改變它的X軸，Y軸和thita角度來完成對準，對準精度可想而知不高了。

2、半自動：指的是對準可以通過電動軸根據CCD的進行定位調諧。

3、自動： 指的是 從基板的上載下載，曝光時長和循環(huán)都是通過程序控制，自動光刻機主要是滿足工廠對于處理量的需要。

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