此前荷蘭的 ASML 已被限制對中國出售 EUV 光刻機(jī)，去年下半年以來各種限制陸續(xù)加碼，到今年初 ASML 表示可以對中國出售的最先進(jìn)的光刻機(jī)是 10 年前的 1980Di 光刻機(jī)。

而在近期，荷蘭方面又發(fā)布了新出口管制條例，要求企業(yè)出口先進(jìn)設(shè)備前需要獲得許可證。新的出口管制條例針對對象為先進(jìn)的芯片制造技術(shù)，包括最先進(jìn)的沉積設(shè)備和浸潤式光刻系統(tǒng)。新規(guī)將在 9 月 1 日生效。

根據(jù)中國臺灣省 DigiTimes 報(bào)道，ASML 試圖規(guī)避荷蘭新銷售許可禁令， 面向中國市場推出特別版 DUV 光刻機(jī)。

(資料圖)

消息稱如果該項(xiàng)目繼續(xù)推進(jìn)， 中芯國際、華虹等中國半導(dǎo)體企業(yè)可以繼續(xù)使用 ASML 的設(shè)備生產(chǎn) 28 納米及更成熟工藝的芯片。

這款專供中國市場的 DUV 光刻機(jī)基于老款 Twinscan NXT: 1980Di 光刻系統(tǒng)改造，IT之家了解到， 1980Di 是 10 年前推出的老型號，不在本次官方禁令范圍內(nèi)。

1980Di 是 ASML 現(xiàn)有效率比較低的光刻機(jī)，支持 NA 1.35 光學(xué)器件、分辨率可以達(dá)到 <38 nm， 理論上可以支持 7nm 工藝。

大多數(shù)晶圓廠使用 1980Di 光刻機(jī)來生產(chǎn) 14nm 及以上工藝芯片，但是很少使用其生產(chǎn) 7nm 芯片。

不過在今日晚間，荷蘭光刻機(jī)巨頭 ASML 回應(yīng)稱：“一直以來 ASML 都遵守所適用的法律條例， 我們并沒有面向中國市場推出特別版的光刻機(jī)”。

ASML 公布的業(yè)績顯示它在 2022 年出售的光刻機(jī)當(dāng)中，有 14% 銷往中國大陸市場，中國為 ASML 的第三大收入來源市場。

ASML 此前預(yù)計(jì)今年全球的芯片設(shè)備市場將出現(xiàn)萎縮，預(yù)計(jì)從 2022 年的 1076 億美元跌至 900 億美元，下滑一成左右。隨著荷蘭出口管制條例的出臺，全球芯片設(shè)備市場預(yù)計(jì)萎縮幅度會更大，這 對 ASML 的營收會造成負(fù)面影響。

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